
技術(shù): 華為采購ZJ-5型疊堆壓電系數(shù)測試儀(大電容,大系數(shù))

壓電陶瓷是用于超聲電機的主要壓電材料。目前國內(nèi)外絕大多數(shù)超聲電機是以單層厚度為毫米級的單層或多層壓電陶瓷片(以下簡稱壓電片)作為驅(qū)動元件。隨著超聲電機向小、輕、薄、高效率、低振動、低噪聲和低價格方面發(fā)展,不僅對壓電陶瓷的性能要求越來越高,而且對其結(jié)構(gòu)和尺寸等提出新的要求。其中壓電疊堆成為一個新的研究方向壓電疊堆,亦稱層疊式壓電陶瓷作動器、多層疊堆式壓電陶瓷、或積層式壓電微位移器,是指厚度100μm左右的幾十層、甚至上百層的壓電陶瓷,連同電極,通過固態(tài)燒結(jié)工藝制作而成,并沿陶瓷層的厚度方向極化的壓電陶瓷組,各層之間在機械上串聯(lián),在電路上并聯(lián)。與上述壓電片相比,壓電疊堆的能量轉(zhuǎn)換效率高、電源功耗低、響應(yīng)速度快、分辨率高、輸出力大、輸出位移大且穩(wěn)定、蠕變小等特點,特別是能實現(xiàn)低電壓驅(qū)動、體積小的優(yōu)點,在包括超聲電機在內(nèi)的各種驅(qū)動場合具有良好的應(yīng)用前景。
ZJ-5型積層壓電測試儀(積層靜壓電系數(shù)d33測量儀)是為測量壓電材料的d33常數(shù)而設(shè)計的專用儀器,它可用來測量具有大壓電常數(shù)的壓電陶瓷,小壓電常數(shù)的壓電單晶及壓電高分子材料。此外,也可測量任意取向壓電單晶以及某些壓電器件的等效壓電d’33常數(shù),儀器測量范圍寬,分辨率細,可靠性高,操作簡單,對試樣大小及形狀無特殊要求,圓片、圓環(huán)、圓管、方塊、長條、柱形及半球殼等均可測量,測量結(jié)果和極性在三位半數(shù)字面板表上直接顯示。
二、參考標準:
GB3389.4-82《壓電陶瓷材料性能測試方法 縱向壓電應(yīng)變常數(shù)d33的靜態(tài)測試》 GB/T3389.5-1995《壓電陶瓷材料性能測試方法 圓片厚度伸縮振 動模式》 GB000?Tj1.1/T3389.4-1982《壓電陶瓷材料性能測試方法 柱體縱 向長度伸縮振動模式》 GB/T 3389.7-1986《壓電陶瓷材料性能測試方法 強場介電性能的測試》 GB/T3389.8-1986《壓電陶瓷材料性能測試方法 熱釋電系數(shù)的測試
疊層陶瓷電容器是通過交替疊層陶瓷電介質(zhì)與金屬電極形成的電子元件,其核心結(jié)構(gòu)由內(nèi)部電極層、陶瓷介質(zhì)層及外部電極組成。采用鈦酸鋇基材料與稀土元素添加技術(shù),使產(chǎn)品在170℃高溫下仍保持穩(wěn)定性能,相對介電常數(shù)可達5850以上。通過玻璃質(zhì)晶粒間界固溶Mn、V等元素,顯著提升電極與介電體層的結(jié)合強度,解決薄型化導(dǎo)致的剝離問題。2024年公開的顯示,制造工藝采用1155-1245℃燒成溫度,實現(xiàn)電介質(zhì)層厚度1.5-2μm級別的量產(chǎn)能力

材材料組成
電介質(zhì)材料包含鈦酸鋇(BaTiO3)與添加選自Mn、V、Cr、Mo、Fe、Ni、Cu和Co中的一種或多種添加物元素。稀土元素釔在晶粒內(nèi)部形成0.05原子%/nm的濃度梯度,有效抑制高溫晶界擴散 [1-2]。內(nèi)部電極采用鎳基合金,其線性膨脹系數(shù)與陶瓷介質(zhì)匹配度達98%以上 .
制造工藝
播制造流程包含四大關(guān)鍵工序:
生片成型:采用60℃/10Pa壓力條件疊層壓制,確保層間密實度>99.5% [1]
高溫燒成:在1155-1245℃梯度升溫,持續(xù)時間4-6小時 [1]
再氧化處理:1000℃環(huán)境下進行12小時晶界修復(fù) [1]
端電極形成:通過濺射沉積銅鎳復(fù)合層,厚度控制在20-50μm [2]
性能特性
播經(jīng)2024年驗證的主要性能指標包含:
溫度特性:-55℃至125℃范圍內(nèi)電容波動<±15% [1]
可靠性測試:170℃/14.2V高溫負荷下無失效案例 [1]
壽命表現(xiàn):基準試料壽命達2000小時以上 [2]
介電強度:>250V/μm(厚度1.5μm介質(zhì)層) [2]
技術(shù)創(chuàng)新
通過三大技術(shù)突破實現(xiàn)高可靠性:
1.晶粒間界調(diào)控:在玻璃相中固溶Mn、V等元素,使晶界電阻率降低40% [2]
2.薄型化工藝:采用納米級陶瓷粉末,實現(xiàn)1.5μm介質(zhì)層連續(xù)成型 [1-2]
3.濃度梯度設(shè)計:釔元素從晶粒中心到表面形成0.12-0.05原子%/nm的梯度分布,抑制高溫離子遷移
主要技術(shù)參數(shù):
四、主要技術(shù)指標
★×1擋:20到2000pC/N,
★×10擋: 2000到50000pC/N,
誤差:×1擋:±2%±1個數(shù)字,當d33在200到2000pC/N;
±5%±1個數(shù)字,當d33在20到200pC/N;
×10擋:±2%±1個數(shù)字,(當d33在2000到50000pC/N)
±5%±1個數(shù)字,當d33在200到2000pC/N。
★電壓保護:放電保護功能
★D31塊體夾具,D15塊體夾具,D15圓管夾具,D31塊體夾具,薄膜拉伸夾具(新增功能),共面電極功能(新增)
★計量標定標準樣尺寸:18mm*0.8mm,老化時間:2-3年(評判壓電測試儀準確性能的重要依據(jù)之一)
★分辨率:×1擋:1 pC/N;×0.1擋:0.1 pC/N。
尺寸:施力裝置:Φ110×140mm;儀器本體:240×200×80mm。
重量:施力裝置:約4公斤;
儀器本體:2公斤。
電源:220伏,50赫,20瓦。